供应青岛青岛福润德牌frd-016全自动太阳能扩散炉

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青岛福润德微电子设备有限公司

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详细介绍

太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
◆工作温度：300~1300℃
　　◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制
　　◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制）
　　◆温区精度（静态闭管测试）：
　　600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃
　　300℃≤工作温度≤600℃：±1℃
　　◆单点温度稳定性（静态闭管测试）：
　　600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h
　　300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h
　　◆温度斜变能力：
　　{zd0}可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min
　　{zd0}降温速度（1300～900℃）：5℃/min
　　◆气体流量设定精度：±2％FS
　　◆气路系统气密性：1×10-7PA.m3/s
　　◆自动送料装置行程：~2000mm
　　速度：5~1000mm/min
　　SiC浆承重 19kg
　　◆装片数量 400片/管
　　◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）
　　◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
　　◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min