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专业供应青岛福润德牌frd-006扩散炉专用炉体

发布:青岛福润德微电子设备有限公司 2016-12-12 本页网址： http://www.yalifei.com/sell/42800480.html
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专业供应青岛福润德牌frd-006扩散炉专用炉体

青岛福润德微电子设备有限公司

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详细介绍
可完全代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。
设备特点： 
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停／继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有历史记录功能
具有多点温度补偿
技术指标：
可配置工艺管外径2～8英寸
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