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供应青岛福润德牌frd-007{gx}节能高纯砷提纯炉

发布:青岛福润德微电子设备有限公司 2016-12-12 本页网址： http://www.yalifei.com/sell/42800465.html
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供应青岛福润德牌frd-007{gx}节能高纯砷提纯炉

青岛福润德微电子设备有限公司

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详细介绍
高纯材料提纯设备主要满足高纯砷等新材料制造行业，对材料进行气氛保护下的烧结、升华、还原、精馏等工艺。主要性能指标：
外型形式：卧式结构，水平炉管
工作温度：200℃—1100℃
恒温区长度：根据工艺要求
仪表控温精度：千分之三高精度
可通工艺气体：氮气、氧气、氢气、氩气等
气体控制方式：MFC或浮子流量计控制
报警系统：气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式：程序控制或工控机+触摸屏控制
产品特点：
采用国内独有的开合式设计方式；
工艺降温速度快；
生产效率高；
设备维护简便
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