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供应福润德牌frd-003半导体专用氧化扩散炉

发布:青岛福润德微电子设备有限公司 2016-12-12 本页网址： http://www.yalifei.com/sell/42800354.html
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供应福润德牌frd-003半导体专用氧化扩散炉

青岛福润德微电子设备有限公司

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详细介绍
应 用：半导体集成电路及器件的扩散、氧化、合金、退火等工艺 
工 艺：扩散（硼扩散、磷扩散等），氧化（干氧氧化、湿氧氧化-去离子水氧化、氢氧合成氧化等），退火，合金等等。 
结 构：水平结构，垂直结构 
晶圆规格：4"、5"、6"、8";
太阳能电池为125×125、156×156 
工艺管数：水平结构为1-4管，垂直结构为1管 
产品类型：生产型，科研型（R&D-小型） 
产品等级：普通级（一般性的科研与生产） 
标准级（国际通行技术标准及质量等级，如IC制造等） 
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