德国Mahr 马尔 MarSurf LD 130 LD 260 轮廓粗糙测量仪
精度用于粗糙度和轮廓及 130 mm 测量路径
Mahr 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在第一代设备经验的基础上，又经过系统化的设计。各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。
优点:
一步完成粗糙度和轮廓测量高测量和定位速度可大幅减少测量时间
创新的测头系统解决方案，快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆
长测量长度，130 mm，测量行程 13 mm（100 mm 测杆长度）或 26 mm（200 mm 测杆长度）。模块结构，方便维护
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定位速度
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0.02 - 200 mm/s (X)
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扫描长度末尾（X方向）
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130 mm
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测量速度
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0.02 mm/s 至 10 mm/s；
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粗糙度测量
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推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s
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导块偏差
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0.35 µm / 60 mm
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分辨率
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0.8 nm
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测量范围 mm
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13 mm（100 mm 测杆）
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扫描长度
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0.1 mm - 130 mm
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测量力
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