Mahr 度量先进的技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。MarSurf LD 130 和 LD 260 测量站经过系统化的设计以利用第一代设备的经验。
一步完成粗糙度和轮廓测量
高测量和定位速度可大幅减少测量时间
删除创新的测头系统
快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆
长测量长度，高达 260 mm (MarSurf LD 260)，测量行程 13 mm（100 mm 测杆长度）或 26 mm（200 mm 测杆长度）
模块结构，方便维护
维护时无需拆卸测量立柱
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测量速度（文本）
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0.02 mm/s 至 10 mm/s；
粗糙度测量；
推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s
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扫描长度末尾（X 方向）
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130 mm
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分辨率
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0.8 nm
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扫描长度开始（X 方向）
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0.1 mm
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定位速度（文本）
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0.02 mm/s 至 200 mm/s
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测量范围 mm
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13 mm (100 mm probe arm)
26 mm (200 mm probe arm)
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扫描长度（文本)
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0.1 mm - 130 mm 或 260 mm
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测量力 (N)
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0.5 mN 至 30 mN，可软件调整
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