KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。
通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
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设备名称
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小型蒸镀仪
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控制方式
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7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
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溅射电源
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直流热蒸发电源
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镀膜功能
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0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
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功率
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≤1500W
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输出电压电流
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电压≤12V 电流≤100A
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真空
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机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
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溅射真空
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≤30Pa
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挡板类型
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电控
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真空腔室
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石英腔体φ160mm x 160mm
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样品台
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可旋转φ62 （可安装φ50基底）
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样品台转速
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8转/分钟
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蒸发坩埚容积
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70-140mm
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蒸发温度调节
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3ml
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蒸发温度调节
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≤1600℃
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真空测量
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皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
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预留真空接口
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KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
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