DCM-40/60
双视显微镜（适用于直径达 4 和 6 英寸的晶圆）
DCM-40/60 是显微镜系统，在显微镜的视野中叠加样品（晶圆）的顶部和底部图案，然后通过测量系统比较位移来测量位移长度。由于安装在顶部和底部的物镜有 5 种类型，总放大倍率从 50X 到 1000X，因此可以观察各种样品。
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DCM-60
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DCM-40
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目标
（
由客户选择）
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（总放大率）
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(50X)
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(100X)
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(200X)
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(400X)
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PLM5X
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PLM10X
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PLLWDM20X
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PLLWDM40X
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底部
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PLM5X
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PLM10X
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PLLWDM20X
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PLLWDM40X
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目镜
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一对SUW10X
（包括千分尺分划板）
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一对UW10X
（包括千分尺分划板）
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总放大率
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50X 至 400X（更大的放大倍数可根据客户订单提供。）
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上物镜移动距离
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24mm
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30mm
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下物镜移动距离
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3 毫米
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12mm
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筛选
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上：绿色 / 下：红色
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舞台和柜台
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150 x 150mm 手动载物台
KC-12R 计数器（1μm 读数）
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50 x 50mm 手动载物台，数字测微计（1μm 读数） 100 x 100mm 手动载物台，KC-12R 计数器（1μm 读数）
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舞台旅行
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X：150mm Y：150mm
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X : 50mm Y : 50mm
X : 100mm Y : 100mm
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晶圆架
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6 英寸
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4 英寸
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持有人可以在定制的基础上提供特殊设计的形状。
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舞台旋转
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360°
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照明
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150W卤素光导照明
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材料厚度
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20mm以下
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30mm以下
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校准图类型
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光轴校准校准图
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