EMA-400
桌面面罩对准器
特点
*经济、紧凑和高级性能
* 在视野中查看两个对准标记的融合图像。
* 用于曝光的积分器镜头。
* LED illuminator
APPLICATION
(Micromachine development in R&D center and university)
*Acuator, Pressure Sensor, Acceleration Sensor, Power Device, etc.
* Exposure for Flip Chip/BGA/CSP。
* 光/高速通信组件的曝光。
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对齐范围
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目标分离
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15 至 75 毫米
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总放大率
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100X
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观察用照明器
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绿色 LED (λ=540nm)
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X, Y 载物台移动范围
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±5 毫米
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θ调整
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±5°
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效用
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主体
和水银灯电源
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交流 100V 50/60Hz 15A
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真空源
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低于 21.3 Kpa（-80 Kpa 从大气压）
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压力源
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大于 0.2MPa（N² 气体或干燥清洁空气）
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曝光单元
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镜片
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积分透镜
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水银灯
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250W超高压蒸气汞灯
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有效曝光面积
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φ100 mm
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强度分布
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±5% 或更少
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照明强度
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20 毫瓦/平方厘米（405 纳米）
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曝光时间控制
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数字定时器和旋转螺线管
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汞灯照明单元
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交流 100V
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