：诚峰智造
喷射型AP等离子处理系统CRF-APO-DP1010-D
名称（Name） 喷射型AP等离子处理系统
型号（Model） CRF-APO-DP1010-D
电源（Power supply） 220V/AC,50/60Hz
功率（Power） 1000W/25KHz
处理高度（Processing height） 5-15mm
处理宽幅（Processing width） 1-6mm（Option）
内部控制模式（Internal control mode） 数字控制
外部控制模式（External control mode） RS485/RS232数字通讯口、
模拟量控制口 工作气体（Gas）
Compressed Air （0.4mpa）
产品特点：可选配多种类型喷嘴，使用于不同场合，满足各种不同产品和处理环境；
具有RS485/232数字通讯口和模拟量控制口，满足客户多元化需求。
设备尺寸小巧，方便携带和移动，节省客户使用空间；
可In-Line式安装于客户设备产线中，减少客户投入成本；
使用寿命长，保养维修成本低，便于客户成本控制；
应用范围：主要应用于电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理；工业的航空航天电连接器表面清洗；通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理等。
半导体封装行业，包括集成电路、分立器件、传感器和光电子的封装，通常会用到铜材质的引线框架，为了提高键合和封塑的可靠性，一般会把铜支架经过几分钟的等离子清洗机处理，来清除表面的有机物、污染物，增加其表面的可焊性和粘接性。
有的时候我们会发现，铜支架在等离子清洗机的真空环境下如果处理不当，容易出现表面变色和发黑，严重的甚至是出现烧板等现象。难道是因为腔体里面的空气没有抽干净吗?残余空气中氧分子被激发，形成的氧等离子体与铜表面发生化学反应而形成氧化铜的结果?原因真的就这么简单吗?诚峰智造资深工程师结合多年的等离子清洗铜支架的实践经验，与大家一起分析一下。
1 等离子清洗机真空度影响铜支架清洗效果和变色
等离子清洗机真空度关联因素包括真空腔体漏率、背底真空、真空泵的抽速和工艺气体的进气流量等。真空泵抽速越快，背底真空值越低，说明里面残留的空气就越少，铜支架与空气里面的氧等离子体反应的机会就会越少;当工艺气体进入，形成的等离子体可以充分地与铜支架发生反应，没有被激发的工艺气体可以把反应物轻松带走，铜支架清洗效果会好，不容易变色。
2 等离子清洗机电源功率对铜支架清洗效果和变色的影响
等离子清洗机电源功率关联因素包括能量功率大小和单位功率密度。电源功率越大，等离子体能量就越高，对铜支架的表面轰击力就越强;同等功率的情况下，处理的铜支架越少，单位功率密度就会越大，清洗的效果就会越好，但有可能会造成能量过大，板面变色或者烧板。
等离子清洗机的等离子电场分布关联因素包括电极结构、气体流向和铜支架的摆放位置等相关。不同处理材料、工艺需要以及产能要求，对电极结构的设计是不一样的;因此气体流向会形成一个气场，对等离子体的运动、反应、均匀性都会有影响;铜支架的摆放位置，会影响到电场和气场特性，导致能量分配不均衡，局部等离子密度过大而烧板。
实践证明了等离子清洗机的处理时间、电源频率、包括载具类型等都会对铜支架的处理效果和变色也是有影响的。