对泵的修理,可虑从减小它的间隙公差着手。一首先,设法改变它的偏心值:把中间轴套换一偏心套,使上切点间隙减小到0 02 mm;将高真空
室泵腔研磨去Q 03 mm,低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平台上组装(不打定位销),边组装边用手盘动泵轮,并以对角均匀原则拧紧紧固螺钉。根据经验,如果转子外表是正圆形,则转动泵轮时,不管到那一点,均不应有阻滞费力的感觉;但如果装配不正或转子外表为椭圆形,在转动泵轮时,就会发生半周轮重、半周轮轻的感觉。该泵装配间隙减的很小,装配时稍有不慎,就装不正,这样由于摩擦发热等原因,就容易在运转中卡死或研坏。所以要认真、细致地装配。在装完后试抽,其真空度用热偶真空计测达82格,由曲线查得相当于8X103托,麦氏计测达2X 104托以上。运转一段时间后真空度还略有提高。
真空泵和电动机的安装
真空泵和压缩机在安装前,用手转动联轴器,保证真空泵内没有卡住和其它损坏现象。整套设备运抵安装地点时,若bao装已损坏或受潮,以及真空泵已经出厂八个月以上时,应在安装真空泵前全部拆开检查。若真空泵或压缩机正常,将真空泵和电动机安装在泵座上时,应校正电动机轴与泵轴的同心度,因为真空电动机轴与泵轴之间有极小的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损。校正方法如下:将直尺平行放在联轴器上,在整个圆周的任何位置直尺应与联轴器圆周完全密合,没有间隙,并且联轴器的轴向间隙相等时,则达到了所要求的同心度。
电动机与泵轴,即使有极小的倾斜,也会引起轴承发热和零件过早磨损等严重后果,若安装正确,用后即能轻松地转动泵轴。在真空泵的进气口应安装过滤装置,以防异物进入泵腔内。
真空机组具有很高的抽气效率
真空机组具有很高的抽气效率,简化高真空机组,取消罗茨真空泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空机组应用设备,也可以适当加强前级真空泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,故前级真空泵的使用时间很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用。这样一来就使规模化应用的真空机组得到了大大的简化。在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨真空泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨真空泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速,所以也可以在三级中真空机组中取两级罗茨真空泵。
通常长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨真空泵,分子增压真空泵可以完全取。而长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨真空泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级真空泵往往还具有强劲的抽速。