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Varian TURBO Pump Controllers V-70常见用于较老款半导体设备,各类检测仪器的小型真空腔体上.

由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。


TV70 出口法兰:DN16NW

主要从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医疗,

太阳能电池板等真空镀膜设备维修!

 

 

 

 



Varian Turbo-V 81-T和varian TV81-M,转速都是80000,DN63口径时,抽速都是77L/s,

启动时间都是60秒,分子泵电源可以相互通用,他们差别在哪里,很多人不清楚。

 

 


 

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