广州帕纳光电科技有限公司
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压强为1Pa,温度为27℃时,气体分子的密度n为
n=1/(1.38×10-23×(273+27))=2.4×1020个/m3
扫描电镜真空系统--涡轮分子泵一、涡轮分子泵的结构原理
利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵有超高真空低能耗,气体输送能力强,循环时间短使用时间长的优点。
冷却方式:风冷、水冷
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