公司长期致力于真空泵维修保养fu务，以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。
有些泵，按其极限真空度的指标来说，也并不是很低的，但是生产上却希望它还能提高些，应如何着手呢?
对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。在该泵起初进行试抽时并未发现它有什么大毛病。生产上用它单独抽空希望能稳定地达到热偶真空计75格以上(相当于麦氏训·测的5X10;托)，而实际上它比所希望的低不多。
修理时，将其拆卸后测得其主要部位间隙尺寸为:转子切点间隙Q 04 nom,高真空室双面间隙Q 07 mm，低真空室双面间隙a 08 mm，转子比旋片短0 02mm。这些数据与表2来比较，还是正常的范围。
真空泵市场发展现状
真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。
一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
