LED专用炉主要满足LED芯片制造行业,对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。
特点:
★关键件全部采用进口件,具有高可靠性。
★具有可编程的升、降温功能。
★具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
★可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。
★曲线间可以任意链接、重复。
★具有高抗干扰能力。
★具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。
★可为您提供斜滚式推拉舟系统,石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。
主要技术参数:
★可配工艺管数量:1~4管/台; ★工作温度范围:400~1300℃;
★恒温区长度及精度:300~1000mm 600~1280℃±0.5℃;
★单点温度稳定性:600~1280℃±0.5℃/24h; ★{zd0}可控升温速度:15℃/min
★{zd0}降温速度:5℃/min