ATH 500 M，对氮气的抽速最 高可达 550 l/s，紧凑集成的控制器。可以安装在任 何方向。CE标志和通过无铅认证。核心科技是五轴控制全磁浮轴承，免维护，无需润滑，保证内部清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性，在高速运转过程中无摩擦，无磨损，低噪音低振动，可延长的使用寿命。
ATH 500 M 多种配置可选 满足不同需要：
1.两种接口：DN 100/160
2.三种密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
3.两种冷却方式：风冷、水冷
4.另有可远程控制和可加热款（抗腐蚀MT）供客户选择
ATH 500 M 技术参数：
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轴承
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五轴控制全磁浮轴承
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转速
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50000 min-1
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对氮气的压缩比
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> 2 · 107
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最 大进气压力N2
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2.6 hPa
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对氮气的抽速
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350 l/s--550 l/s
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启动时间
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< 2 min
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极限真空度
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< 1 · 10-8 hPa
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重量
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17 kg-18kg
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ATH 500 M 对不同气体的抽速：
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ATH 500 M 尺寸图：
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ATH 500 M 目前在售型号：
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