marsurf xr20是*上乘的表面粗糙度计量设备，能力检验室和车间提供所有符合ASEME、JIS和ISO等国际标准的参数，是MAHR累积数十年表面计量学经验发展的设备。
功能特点:
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组成:
* 驱动器 PGK120
* 传感器连探针套装 MFW250
* 大理石机台
* 数据处理控制器 Perthometer S2
选配:
* 测量软件操作电脑系统 MarSurf XR20
* 标准块 PGN-3
* X-Y移动台
技术数据:
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驱动器*大行程
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120mm
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测量速度
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0.1mm/s
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直线度
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0.3um/120mm
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*高解析度
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8nm/5nm(软件)
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驱动器调节倾斜范围
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±1°
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驱动器的高度调节范围
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50mm
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测量范围
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±250um/±500um(选特定的测针)
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测量压力
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0.7mN
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测针尖
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半径2um/90°
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测量参数
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超过40种(75种, 软件)粗糙度、波度、P-轮廓和图案参数
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