MarOpto FI 1100 Z 干涉仪
强大的 Fizeau 干涉仪.
最小的测量不确定性和优异的灵活性及多功能性
无接触形状和轴前测量
MarOpto FI 1100 Z 是一款功能强大的紧凑型干涉仪，孔径 100 mm，可以提供平面和球面以及波阵面非接触测量。
可以通过简单的干涉条纹检测、IntelliPhase 静态空间载波分析或标准相位盘来执行测量。MarOpto FI 1100 Z 可提供现在的工业应用需要的灵活性和优异的性能。除表面测试光学组件外，还可以测量曲率和波阵面的半径。
尺寸小，方便集成到 OEM 系统。因此能够以极高的实现准确的测量。干涉仪可用于水平和垂直方向。
我们产品的各种应用
测量平、凹或凸表面
棱柱、角锥、楔角和均匀度测量
测量车削、陶瓷和晶圆表面
光学系统和组件的波阵面分析
集成到 OEM 系统