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详细介绍

设备类型:在线全自动3D SPI

特性:3D高精度轮廓测量技术应用

适用基板: 50mm x 70mm - 510mm x 460mm

基板厚度: 0.6mm - 6.0mm

分辨率:10μm - 15μm (可调)

高度测量精度:1μm

外形尺寸:W1000 x D1170 x H1800(mm)

设备重量:740kg

 

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