加压吸附真空解吸(简称VPSA)制氧设备，即穿透大气压 的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~94%)。VPSA能耗较低,设备越大其能耗越低。
VPSA型制氧机
1、 能耗比较低。产氧量越大，能耗也降低。
2、 维护成本低，动设备为罗茨鼓风机和罗茨真空泵，因其工作原理都为容积式，无油，极易维护。
3、 整套设备的自动化程度高，动设备与制氧机是同步控制，只需按一下启动按钮，整套设备即可正常运行。
4、 适合于中大型产量。