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快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该产品,拥有独立的发明专利。该设备不但拥有极快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,在绿色节能环保的基础上真正的让试样的极速升降温!

腔体采用了独有进气结构,内管进气,外管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的精准性。

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