等离子废气处理技术，采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，最初用于氟利昂类、哈隆类物质的分解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二噩英有良好的分解效果。
低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。1980年，日本东京大学S．Masuda教授提出的高压脉冲电晕放电法是常温常压下得到低温等离子体的最简单、有效的方法。它已成为目前的研究前沿，也正越来越多的用于气态污染物的治理。
在工业废气处理设备的使用过程中，我们应该掌握一些注意事项，以免在使用过程中造成设备的损坏，还可以更好地把握工作进度：
1、在使用过程中，应及时检查吸收液中酸碱浓度，当发现酸性浓度过高时应该及时更换吸收液。
2、工业废气处理设备周围应保持干净卫生。
3、净化塔中的吸收液是通过加液箱进行添加，液位因与进叶口水平，工业废气处理设备运行后，这时会有一部分液体进入循环系统中，再次添加液体使得与进液口水平；在使用过程中应观察吸收液使用情况，当发现消耗多时要及时添加，吸收液应每8小时进行一次检查，而且缺少时要及时添加。