滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。
定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。
罗茨真空机组的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。通常选择泵的极限压力要高于真空设备工作压力半个到一个数量级。
正确地选择罗茨真空机组的工作点。罗茨真空机组的正常工作范围为最/高吸入压力~极限压力×5。
真空机组在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 根据实际工况条件选用合适的真空机组配置。 但如要求机组对系统有较强的预抽能力且机组需较长时间地工作在较高压力时，则选用具有更大的前级泵机组更为适宜。
轴流泵的大流量启动特性——全开阀启动
轴流泵在零流量工况时轴功率最/大，为额定轴功率的140%~200%，最/大流量时功率最/小，所以为了启动电流最/小，轴功率的启动特性应是大流量启动（即全开阀启动）。
混流泵的启动特征——全开阀启动
混流泵在零流量工况时轴功率介于上述两种泵之间，为额定功率的100~130%，所以混流泵的启动特性也应是上述两种泵之间，最.好全开阀启动。