刀具材料仍然以钴高速 钢为主。近年来，涂层钻头和硬质合金钻头已大量出现，尤其是细晶粒硬质合金，其耐磨性和韧性均有很大提高，目前已开发出粒径为0.5μm以下的WC超细晶粒硬质合金，如佳友电工公司开发的AFI细晶粒硬质合金，其抗弯强度达500kg/mm2，硬度92.5HRA，用其制作微型钻头，切削性能十分理想。
微型钻头的截面积较小，直径越小，钻头刚性越低，因此，要求选用的夹持系统在高速回转时应保持很高的夹持刚性和振摆精度，选用的加工中心也必须具有高精度定位特性。在一般情况下，小直径孔加工的L/D之比达3倍以上时，切深量应确定为钻头直径的20%～30%。
切削液
对小直径孔加工所用的切削液，应特别重视其润滑性能，润滑性良好的切削液易于附着在钻沟上，通过钻沟更易达到加工部位，这可降低摩擦，减少工具磨损，同时也便于排屑。