＜規格參數＞
1. 傳動方式: 無間隙摩擦傳動
2. 鏡頭: 高解析日本SONY
3. 光學放大倍率: 0.7~4.5X
4. 數位放大倍率: 15~150X
5. 燈源: 單向背光、面環光照明燈
6. 量測系統: 幾何量測、影像量測、手動對焦
7. Z軸高度量測方式: 手動對焦量測
8. X、Y軸線性精度: (3+L/200)um
9. 全機外觀尺寸:-
10. 機台總重:-
11. 電源供應: 110-220V ±5% , 60HZ
12. 機台校正: 都卜勒雷射校正
13. 光學尺解晰度: 1um
14. 重複性精度: 3um
15. 機台量測行程: 400X300X200mm
16. 精度補正方式: 可線性及非線性補正
17. 影像擷取方式: SONY彩色CCD
18. 建議環境溫溼度:溫度20℃~25℃、溼度50%~60%
19.紅外線測物器