{zj0}的极限压力完全无油无水
干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，排气温度低，工艺稳定，适用于各种领域的真空工艺，也维持了{zj0}的真空效率和耐用性。
介质不经过油和水，用可变压缩方式操作，水蒸气和液态混合工艺，非常适合干燥、溶剂回收、化工、制药、塑料等各种真空工艺。
VPS干式螺杆真空泵特征
1) 工作腔内无水无油，通过转子转动产生清洁真空。
2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。
3) 通过特殊涂层处理，可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。
4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。
5) 密封方式为机械或双唇密封。
6) 简便的设计易于设备维护。
7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触，使用寿命长。
8) 气体通过泵体可迅速排出。
9) 螺杆转子具有较高的容积效率。
10) 较低的转速可降低振动及噪音。
干式螺杆泵的应用范围：
在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀（PECVD）和反映离子刻蚀（RIE）工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆（PLASMA）的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。
化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺
工业排气；集中式真空处理系统
挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物。
涉及无忧污水真空处理的所有应用
食品行业用于香料，香精浓度，食品包装等。
韩国VPS中型干式螺杆真空泵参数表
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型 号
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VPS-P150
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VPS-P300
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VPS-P400
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VPS-P800
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抽 速
50/60Hz
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M3/h
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120/150
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250/300
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330/400
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680/800
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CFM
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70.6/88.3
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147.1/176.5
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194.2/235.4
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400.2/470.8
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极限
压力
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(Torr)
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0.3/0.5
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0.2/0.1
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0.04/0.03
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0.03/0.02
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(Pa)
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40/20
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26.7/13.3
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5.3/4.0
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4.0/2.7
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电机功率(Kw,50/60Hz)
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5.5
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7.5/11
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11/15
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18.5/22
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泵转速(RPM) 50/60Hz
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2900/3450
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2900/3450
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2900/3450
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2900/3450
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口径
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入口(A)
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40
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50
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65
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100
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出口(B)
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40
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40
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50
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65
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齿轮油(L)
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1.3
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1.6
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2
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4
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冷却水(L/min)
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3
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5
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7
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10
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重量(Kg,泵体)
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220
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320
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410
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630
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