剖析http://zdxhj.cn.qiyeku.comFFU各个部件的作用分别是什么
FFU(Fan Filter Unit),是一个自带送风机(无壳风机)的{gx}过滤器送风口,它与其专用龙骨系统(Ceiling Grid)、冷却盘管(一般为干盘管)、加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。FFU的使用方式是,新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统最为常用于有超静要求的洁净室,如大型集成电路晶圆的制造、{jd0}显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。
http://zdxhj.cn.qiyeku.comFFU各个部件的作用:
1、电机
现在FU中使用的电机有直流电机和交流电机,他们有各自的长处。直流电机的体积大,投资高,控制容易实现,能耗较高。交流电机的体积小,投资低,控制需要相应的技术,能耗较低。
2、金属防护网
金属防护网大多数都防静电,主要起到对维护人员安全的保护作用。
3、{gx}无隔板过滤器
{gx}过滤器主要用于捕集0.1-0.5um的颗粒灰尘及各种悬浮物。过滤效率99.95%99.995%99.9995%99.99995%99.99999%。主要有有隔板和无隔板之分。
FFU中使用的是{gx}无隔板过滤器。
4、外壳体
外壳体的主要材质有冷板烤漆、不锈钢、覆铝锌板等几种。不同的使用环境有不同的选择。它的形状分两种,一种上部为坡形,坡形主要起到一种导流的作用,有利于进气气流的流动和均匀分布;一种是长方体,美观,可以使进入壳体内空气已{zd0}空间正压到过滤器表面。
5、叶轮
叶轮有两种形式,前倾和后倾,前倾有利于增加气流组织的矢向流动,增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗,减少噪音。
6、气流均衡装置
随着FFU在各领域的广泛应用,大多数厂家选择装置气流均衡装置,用来调整ffu的出口气流,并改善洁净区域内的气流分布。目前,它分为三种:一种是孔板,主要通过板上的孔的疏密分布来调节出FFU口气流。一种是栅格,主要通过栅格的疏密来调节FFU的出气流。另外一种为动力曲线,主要通过曲线的形状来诱导气流的流动,同时也通过曲线上孔的疏密分布来调节气流。
7、风管连接部件
在洁净级别较低(≤1000级联邦标准209E)的场合,此时吊顶上部没有静压箱,带有风管链接部件的FFU使得风管和FFU的链接十分方便。
8、预过滤器
预过滤器主要是为了防止因施工、检修或其它以外情况产生的杂物可能对{gx}过滤器造成的伤害。它的材质一般是可清洗的聚氨酯纤维。
9、控制单元
FFU的控制大致可分多档控制、无极控制、连续调节、计算及控制等。同时实现单台控制、多台控制、分区控制、故障报警、历史记录等功能。
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