1级 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的精确要求为亚微米。
10级 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级 很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
100000级 十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
洁净室(区)空气洁净级别表
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洁净度级别
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尘粒{zd0}允许数/立方米
≥0.5μm尘粒数
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≥5μm尘粒数
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微生物{zd0}允许数
浮游菌/立方米
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沉降菌/皿
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100级
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3,500
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0
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5
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1
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10,000级
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350,000
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2,000
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100
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3
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100,000级
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3,500,000
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20,000
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500
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10
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300,000级
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10,500,000
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60,000
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1000
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15
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