真空齿轮泵是用机械方法，使泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得最小时，即与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开，把压缩气体通过油层排出。泵腔内容积不断膨胀与压缩，完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因此，真空齿轮泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。
真空齿轮油泵主动轴与衬套磨损后的修复：真空齿轮油泵主动轴与衬套磨损后，其配合间隙增大，必将影响泵油量。遇此，可采用修主动轴或衬套的方法恢复其正常的配合间隙