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详细介绍

产品特点: 

   采用电阻蒸发或电子枪蒸发方式,是镀制多层光学薄膜(如彩色膜、增透膜、反光膜、金属膜、导电膜等)的主要机器。广泛应用在相机镜头、手机镜片、光学片等各个领域。 

技术参数: 

真空室箱体:采用SUS304不锈钢,直径1200*1300mm,并可根据客户要求实际定做。

夹具方式:球面形状或平面形状,具体按照客户的产品来确定。

蒸发源:采用电子枪和热电阻蒸发源,可根据需要配置大功率离子源、轰击电源等辅助系统,可进行高精度蒸镀。

膜厚控制:可选用光学膜厚测厚仪或石英晶体膜厚仪。

电源:配备直流电源,高压轰击电源,及蒸发大电流电源。

抽真空参数:从大气抽至5*10‾³Pa≤8min 极限真空度8*10‾4Pa

抽气系统:主要配备兰州扩散泵,罗次泵,旋片泵,按照真空室大小确定,并可根据客户要求灵活改变配置。

控制系统:可以选用手动控制;计算机控制,触摸屏面板控制。

其他:配备电热加热系统,可以选配扩散泵自动油温控制装置。冷水机组等等

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