应用领域
RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制，试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等，也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。
主要特点
采用精炼石英管或高纯高于管作为炉膛，可拆卸的密封方式，具有良好的洁净度和真空度，耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝；温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、均匀性。
技术指标
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设备型号 |
温区个数 |
{zg}温度 |
加热区长度 |
炉管尺寸及材料 |
装机功率 |
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RGDL(D)-2/80/44 |
2个 |
1100℃ |
440mm |
Φ80石英管 |
5kw |
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RGDL(Z)-1/60/30 |
1个 |
1400℃ |
300 mm |
Φ60刚玉管 |
8 kw |
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RGDL(G)-3/60/60 |
3个 |
1650℃ |
600 mm |
Φ60刚玉管 |
18 kw |
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RGDL(D)-1/50/70 |
1个 |
1200℃ |
500 mm |
Φ70石英管 |
8 kw |
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RGDL(Z)-2/30/60 |
2个 |
1400℃ |
600 mm |
Φ60高纯刚玉管 |
10 kw |
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RGDL(G)-1/50/80 |
1个 |
1650℃ |
500 mm |
Φ80高纯刚玉管 |
12 kw |
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备注：RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体，通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空，系统具备冷态极限真空6.67×10﹣² Pa 。 |